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최첨단 반도체 생산에 필수적인
EUV 노광 장비 ASML만 생산
네덜란드 정부와 시뮬레이션까지

중국이 대만을 침공해도 첨단 반도체 생산 설비를 손에 넣을 수 없다는 분석이 나왔다. 블룸버그는 22일 세계 최대 파운드리(반도체 수탁 생산 기업)인 대만 TSMC의 첨단 반도체 장비들은 유사시 원격 무력화가 가능하다고 전했다.

미국 정부 관리들은 최근 중국이 대만을 침공할 경우 현지 반도체 생산 시설이 탈취될 수 있다는 우려를 대만과 장비를 제조하는 네덜란드 측에 표명했다. 이에 대해 세계 반도체 장비 1위 기업인 네덜란드 ASML 관계자는 첨단 반도체 생산 시설을 원격으로 무력화할 수 있다고 밝혔다. 네덜란드 정부와 ASML은 중국의 대만 침공을 가정하고 장비를 무력화하는 시뮬레이션도 진행했다고 한다.

원격 무력화 기능은 최첨단 반도체 생산에 필수인 극자외선(EUV) 노광 장비에도 탑재됐다고 알려졌다. 웨이퍼에 초(超)미세 반도체 회로를 새기는 이 장비는 대당 가격이 3000억원 수준으로, 세계에서 ASML이 유일하게 생산하고 있다. EUV 장비보유량이 그 나라의 첨단 반도체 생산 능력과 직결된다는 말이 나올 정도다. 중국은 미국이 주도하는 제재로 이 장비를 사들일 수 없어 5나노미터(1나노는 10억분의 1, 수치가 작을수록 성능 좋음) 이하 초미세 반도체 공정에 접근하지 못하고 있다. 마크 류 TSMC 회장도 작년 9월 CNN 방송과 가진 인터뷰에서 대만이 침공당하면 TSMC 공장은 폐쇄될 것이라고 밝혔다. 그는 "아무도 TSMC를 무력으로 통제할 수 없다"며 "침공 즉시 TSMC 공장은 가동할 수 없게 된다"고 말했다. 기고자 : 베이징=이벌찬 특파원
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